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低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统

低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统

UHV-LT-SPM-MBE SYSTEM
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所属分类
系统
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产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

 新型潘式扫描探头,可扩展qPlus AFM功能,模块化设计,易于维护

● 可选光学通道,适于光学实验

● 多源MBE样品制备,可原位沉积

● 袖珍型进样室,快速传输样品

● 新型潘式扫描探头,可扩展qPlus AFM功能,模块化设计,易于维护

● 可选光学通道,适于光学实验

● 多源MBE样品制备,可原位沉积

● 袖珍型进样室,快速传输样品

STM系统性能测试数据  / STM TEST DATA

 

STM系统性能测试数据  / STM TEST DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

                                  
扫描探头 光耦合兼容
模块化设计,可扩展qPlus AFM功能
最低工作温度 ≤5K
X/Y/Z粗移动范围 2×2×8mm
X/Y/Z扫描范围 6×6×2μm @ RT
1.5×1.5×0.5μm @ LHe
低温维持时间 ≥50h(液氦容积4L、液氮容积15L)
温度漂移 <0.2nm/h
分辨率 原子级分辨率
  样品台 X/Y轴 ±12.5mm,手动
Z轴 450mm,步进电机
自转 ±180°,手动
公转 ±180°,手动
温度范围 120K~室温 (LN2冷却)
室温~1450K(E-Beam加热)
蒸发源: 最多6个 DN40CF( O.D. 2.75'') 5个
DN63CF( O.D. 4.5'') 1个
可选项 光学通道,适用于光学实验
反射高能电子衍射仪
低能电子衍射仪
离子枪(3Kev/5Kev)

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

 

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UHV-LT-SPM-MBE SYSTEM
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● 可选光学通道,适于光学实验

● 多源MBE样品制备,可原位沉积

● 袖珍型进样室,快速传输样品

● 新型潘式扫描探头,可扩展qPlus AFM功能,模块化设计,易于维护

● 可选光学通道,适于光学实验

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扫描探头 光耦合兼容
模块化设计,可扩展qPlus AFM功能
最低工作温度 ≤5K
X/Y/Z粗移动范围 2×2×8mm
X/Y/Z扫描范围 6×6×2μm @ RT
1.5×1.5×0.5μm @ LHe
低温维持时间 ≥50h(液氦容积4L、液氮容积15L)
温度漂移 <0.2nm/h
分辨率 原子级分辨率
  样品台 X/Y轴 ±12.5mm,手动
Z轴 450mm,步进电机
自转 ±180°,手动
公转 ±180°,手动
温度范围 120K~室温 (LN2冷却)
室温~1450K(E-Beam加热)
蒸发源: 最多6个 DN40CF( O.D. 2.75'') 5个
DN63CF( O.D. 4.5'') 1个
可选项 光学通道,适用于光学实验
反射高能电子衍射仪
低能电子衍射仪
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