高通量LMBE-SPM联合系统
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术
● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征
● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃
● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展
● 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术
● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征
● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃
● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展
Combi-LMBE-STM系统性能测试数据 / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA
该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments
91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】
Combi-LMBE-STM系统性能测试数据 / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA
该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments 91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
真空指标 |
STM 腔 |
真空度≤5×10-10 Torr |
RTTA腔 |
真空度≤5×10-10 Torr |
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LMBE腔 |
真空度≤5×10-9 Torr |
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Load Lock腔 |
真空度≤10-7 Torr |
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Buffer腔 |
真空度≤1×10-6 Torr |
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LMBE 腔 |
LMBE成膜腔体内基片加热温度 |
稳定达到1000℃ |
样品台四轴运动 |
X/Y移动范围:±5.5mm |
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Z轴移动范围:±12.5mm |
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自转分辨率:0.1度 |
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靶托三轴运动 |
开环自转 |
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闭环公转,分辨率 0.1度 |
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Z轴运动范围:±40mm |
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6个1英寸靶位 |
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掩膜板两轴移动 |
闭环绕轴转动,其中转动精度达到0.02度,(0.001度可选) |
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直线运动范围:±10毫米 |
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双极差分高压RHEED |
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能够实现在10-1 Torr量级气压环境下的高能电子衍射(RHEED)的原位观测 |
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SPM 腔 |
工作温度 |
低至6K |
X/Y/Z样品移动范围 |
10×10×10mm,1µm分辨率 |
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分辨率 |
原子级别分辨率 |
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