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高通量LMBE-SPM联合系统

高通量LMBE-SPM联合系统

Combi-LMBE-SPM SYSTEM
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系统
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高通量LMBE-SPM联合系统
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产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征

● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃

● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展

● 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征

● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃

● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展

Combi-LMBE-STM系统性能测试数据  / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA

 

该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments
91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】

文章链接 Https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5119686

Combi-LMBE-STM系统性能测试数据  / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA

 

该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments 91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】

文章链接 Https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5119686

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

真空指标

STM 腔

真空度≤5×10-10 Torr

RTTA腔

真空度≤5×10-10 Torr

LMBE腔

真空度≤5×10-9 Torr

Load Lock腔

真空度≤10-7 Torr

Buffer腔

真空度≤1×10-6 Torr

LMBE 腔

LMBE成膜腔体内基片加热温度

稳定达到1000℃

  样品台四轴运动

X/Y移动范围:±5.5mm

Z轴移动范围:±12.5mm

自转分辨率:0.1度

  靶托三轴运动

开环自转

闭环公转,分辨率 0.1度

Z轴运动范围:±40mm

6个1英寸靶位

 

掩膜板两轴移动

闭环绕轴转动,其中转动精度达到0.02度,(0.001度可选)

直线运动范围:±10毫米

双极差分高压RHEED

能够实现在10-1 Torr量级气压环境下的高能电子衍射(RHEED)的原位观测

SPM 腔

工作温度

低至6K

X/Y/Z样品移动范围

10×10×10mm,1µm分辨率

分辨率

原子级别分辨率

 

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Combi-LMBE-SPM SYSTEM
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  主要特点  / MAIN FEATURE

 

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 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征

● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃

● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展

● 原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

● 特殊设计的SPM探头,用于薄膜样品的形貌和电子态高通量表征

● 特殊设计的定位样品托,工作温区覆盖液氦至1000℃

● 可扩展系统结构设计,便于功能扩展

Combi-LMBE-STM系统性能测试数据  / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA

 

该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments
91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】

文章链接 Https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5119686

Combi-LMBE-STM系统性能测试数据  / Combi-LMBE-STM TECHNICAL DATA

 

该高通量薄膜制备及原位表征系统的详细工作发表在近期的《科学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments 91, 013904 (2020); doi: 10.1063/1.5119686】

文章链接 Https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5119686

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真空指标

STM 腔

真空度≤5×10-10 Torr

RTTA腔

真空度≤5×10-10 Torr

LMBE腔

真空度≤5×10-9 Torr

Load Lock腔

真空度≤10-7 Torr

Buffer腔

真空度≤1×10-6 Torr

LMBE 腔

LMBE成膜腔体内基片加热温度

稳定达到1000℃

  样品台四轴运动

X/Y移动范围:±5.5mm

Z轴移动范围:±12.5mm

自转分辨率:0.1度

  靶托三轴运动

开环自转

闭环公转,分辨率 0.1度

Z轴运动范围:±40mm

6个1英寸靶位

 

掩膜板两轴移动

闭环绕轴转动,其中转动精度达到0.02度,(0.001度可选)

直线运动范围:±10毫米

双极差分高压RHEED

能够实现在10-1 Torr量级气压环境下的高能电子衍射(RHEED)的原位观测

SPM 腔

工作温度

低至6K

X/Y/Z样品移动范围

10×10×10mm,1µm分辨率

分辨率

原子级别分辨率

 

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