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中温蒸发源

Medium Temperature Effusion Cell

产品描述

主要特点  / MAIN FEATURE


● 超高真空兼容

● 优异的温度和束流稳定性

● 独立式的水冷结构,源与水冷可单独拆卸

● 多样的灯丝设计,可满足不同升温需求

● 坩埚容积可达155cc

 

产品应用  / APPLICATIONS


● MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域

 

型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION


②可选 100:DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF

④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃

⑥可选 P: 气动, M: 手动    ⑧可选 K: type K, C: type C

 

技术参数  / TECHNICAL DATA


安装法兰

DN40CF (O.D.2.75''), DN63CF (O.D. 4.5'' ),DN100CF (O.D. 6.0'' )

腔内长度

180~500mm可选

腔内直径

36mm, 56mm, 96mm

工作温度

≤1500℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶或C型热偶

烘烤温度

200℃

源数量

1

坩埚材料

石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料

坩埚容积

7cc, 10cc, 60cc, 155cc

冷却方式

一体式水冷或独立式水冷壁,与源炉分开拆卸

挡板

DN40CF含内置挡板,可选气动或手动

相关文件 / DOWNLOAD

CN-中温蒸发源