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低温蒸发源

Low Temperature cell

产品描述

主要特点  / MAIN FEATURE


● 超高真空兼容
● 高效的水冷设计
● 低温下精确控温
● 坩埚容积可达155cc

 

产品应用  / APPLICATIONS


● MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域

 

型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION


②可选 100:DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF

④可选 H:≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃

⑥可选 P: 气动, M: 手动    ⑧可选 K: type K, C: type C

 

技术参数  / TECHNICAL DATA


 

安装法兰

DN63CF (O.D. 4.5'' ),DN100CF (O.D. 6.0'' )

腔内长度

250~580mm 可选

腔内直径

61mm,95mm

工作温度

≤400℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶

烘烤温度

200℃

源数量

1

坩埚材料

石英,氧化铝,热解氮化硼,可定制其他材料

坩埚容积

60cc,155cc

冷却方式

一体式水冷

挡板

相关文件 / DOWNLOAD

Cn-低温蒸发源单页