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蒸发源控制器

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双灯丝K-Cell蒸发源

双灯丝K-Cell蒸发源

Dual- Filament Effusion Cell
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双灯丝K-Cell蒸发
Dual- Filament Effusion Cell
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产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

●超高真空兼容

●适用于中等蒸气压材料的蒸镀

●独立的双温区控温,每个温区单独可调,有效防止材料在口

●优异的温度稳定性,控温精度±0.1℃

●有效提高UHV系统的使用寿命

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学;超薄膜层;多分子层

● 掺杂;样品制备;密接金属化

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学;超薄膜层;多分子层

● 掺杂;样品制备;密接金属化

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

②可选 35:DN40CF   ④ M: 中温(400-1400℃)  ⑥ 可选 M:手动,P:气动  

⑧ C:  Type C;K:Type K   ⑨ DF:双灯丝

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

②可选 35:DN40CF   ④ M: 中温(400-1400℃)  ⑥ 可选 M:手动,P:气动  

⑧ C:  Type C;K:Type K   ⑨ DF:双灯丝

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

安装法兰

DN40CF (O.D. 2.75”)

腔内长度

标准长度210mm

210mm-400mm可选

腔内直径 36.5mm
工作温度 400-1400℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶(400-1100℃)

C型热偶(400-1400℃)

除气温度 1450℃
烘烤温度 200℃
源数量 1
坩埚材料 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料
坩埚容积 10cc(其他尺寸可定制)

冷却方式

一体式分段水冷

 

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