Epitara™-FS 分子束外延系统

Epitara™ MBE SYSTEM

产品描述

主要特点 / MAIN FEATURE

● 集成化程度高，占地面积极小

● 腔体结构简易，设计简洁，操作便捷

● 扩展性强，可与其他超高真空系统实现互联

技术参数 / TECHNICAL DATA

生长单元	极限真空		优于5×10^-10mbar
	腔体尺寸		O.D. 205 mm（可定制）
	蒸发源接口		CF35×8或CF63×3，CF35×5（可定制）
	烘烤温度		Max 150℃
	控温精度		±1℃
	样品台	衬底尺寸	旗形样品
		衬底安装方式	样品水平地面或垂直地面
		自由度	Z轴升降：50mm，手动 Z轴旋转：±180°，手动
		加热方式及温度范围	热辐射：RT-800℃（K型热偶）直流：RT-1200℃（红外测温）电子束：RT-1100℃（K型热偶）
进样单元	极限真空		优于5×10^-8mbar
	存样数量		≥6片
	烘烤温度		Max 150℃
	传样方式		手动
控制单元	简易控制（可选）			泵规控制器
				阀门手动操作
	基础配置（可选）			触屏面板
				数据记录
				样品台控制
				日志，系统管理
				工艺生长软件（选配）
				阀门自动操作
选配项	样品台			XY±12.5mm，手动
				升降旋转电动
				样品降温，最低温度100K
	原位监测			QCM
				RGA
				BFM
				LEED
				RHEED

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