问
STM系统-STM扫图出现较高的50Hz和倍频峰
答
1、尝试更换接地点。
2、检查屏蔽罩是否关好。
3、将前置放大器用铝箔包好，与腔体固定好。
4、扫描控制器及电脑尝试使用无地线插排。
问
STM系统-STM出现机械噪音
答
1、离子泵维持真空度时，尝试将分子泵的电源及风扇关停。
2、离子泵维持真空度时，尝试将机械泵连接分子泵的波纹管断开。
问
STM系统-扫描头在低温下移动不顺畅
答
1、尝试加大驱动电压。
2、如果是Z方向移动出问题，则可以调节限位弹簧的弹力。
3、若始终无效，可能是驱动模块吸附了杂质，需要拆除清理。
问
STM系统-系超高真空系统的真空度一直不高
答
1、使用He气检漏，查看是否有漏点。
2、检查真空腔体内有放气材料。
3、需要烘烤来提高真空度。
问
STM系统-STM扫图过程出现剧烈抖动
答
1、针尖吸附了脏东西，通过打pulse去除。
2、反馈过大，需要减小反馈数值。
问
电子束蒸发源-电子束蒸发源束流不稳定
答
1、更换灯丝。
2、更换电子束蒸发源控制器。
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