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产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
● 模块化设计，支持核心功能模块自由选配，满足多步骤、复杂工艺的应用需求，精准匹配不同实验目标
● 集成化程度高，占地面积极小，兼顾性能与空间效率，实验适用性强
● 适配大型电子束蒸源，满足多样化样品制备需求
● 扩展性强，可与其他超高真空系统实现互联
● 集成控制系统简化操作，支持程序预设，降低操作复杂度，提升实验可靠性和重复性
技术参数 / TECHNICAL DATA
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生长单元 |
极限真空 | 优于7×10-11mbar | ||||
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腔体尺寸 |
O.D. 400 mm（可定制） |
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| 冷屏及挡板 | 选配 | |||||
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蒸发源接口 |
CF35×6，CF35×4（可定制） | |||||
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烘烤温度 |
Max 150℃ |
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| 样品台 | 衬底尺寸 | 兼容2inch及以下 | ||||
| 挡板驱动方式 | 电动/气动 | |||||
| 加热方式 | 热辐射 | |||||
| 温度范围 | RT-800℃（K型热偶） | |||||
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进样单元 |
极限真空 |
优于5×10-8mbar |
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存样数量 |
≥6片 |
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烘烤温度 |
Max 150℃ |
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| 传样方式 | 手动 | |||||
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控制单元 |
简易控制（可选） |
泵规控制器 | ||||
| 阀门手动操作 | ||||||
| 基础配置（可选） | 触屏面板 | |||||
| 数据记录 | ||||||
| 样品台控制 | ||||||
| 日志，系统管理 | ||||||
| 工艺生长软件（选配） | ||||||
| 阀门自动操作 | ||||||
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选配项 |
制备单元 |
极限真空：优于7×10-10mbar | ||||
| 烘烤温度：Max150℃ | ||||||
| 预留接口:Sample manipulator （CF100×1） Ar/H Sputtering（CF35×2） LEED（CF150×1） Viewport（CF63×1+CF35×1） |
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原位监测 |
QCM | |||||
| RGA | ||||||
| BFM | ||||||
| LEED | ||||||
| RHEED | ||||||
京公网安备 11011602001024号