STM系统-STM扫图出现较高的50Hz和倍频峰

2023-12-13 14:39:24

1、尝试更换接地点。

2、检查屏蔽罩是否关好。

3、将前置放大器用铝箔包好,与腔体固定好。

4、扫描控制器及电脑尝试使用无地线插排。

STM系统-STM出现机械噪音

2023-12-13 14:39:08

1、离子泵维持真空度时,尝试将分子泵的电源及风扇关停。

2、离子泵维持真空度时,尝试将机械泵连接分子泵的波纹管断开。

STM系统-扫描头在低温下移动不顺畅

2023-12-13 14:38:55

1、尝试加大驱动电压。

2、如果是Z方向移动出问题,则可以调节限位弹簧的弹力。

3、若始终无效,可能是驱动模块吸附了杂质,需要拆除清理。

STM系统-系超高真空系统的真空度一直不高

2023-12-13 14:38:47

1、使用He气检漏,查看是否有漏点。

2、检查真空腔体内有放气材料。

3、需要烘烤来提高真空度。

STM系统-STM扫图过程出现剧烈抖动

2023-12-13 14:38:38

1、针尖吸附了脏东西,通过打pulse去除。

2、反馈过大,需要减小反馈数值。

电子束蒸发源-电子束蒸发源束流不稳定

2023-12-13 14:38:31

1、更换灯丝。

2、更换电子束蒸发源控制器。