集成真空控制单元
主要用于真空系统中的机械泵、分子泵、真空阀和ACTIVE规的集成控制，典型应用领域包括：
● 真空镀膜设备
● 表面分析仪器
● 材料制备系统
● 真空设备集成
● 真空热处理设备
● 真空镀膜设备
● 表面分析仪器
● 材料制备系统
● 真空设备集成
● 真空热处理设备
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●支持机械泵与分子泵组合控制，或双分子泵组合控制
● 支持四路阀（角阀、插板阀、VENT阀）与三路 ACTIVE 规集成控制
●可为功率 ≤300 W 的分子泵提供电源
●具备真空系统互锁功能，提升运行安全性
●一键 PUMP / VENT 操作，提升效率并降低使用难度
●紧凑设计，适配各类实验与生产平台，支持远程控制与系统集成
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
技术参数 / TECHNICAL DATA
主要特点 / MAIN FEATURE
●支持机械泵与分子泵组合控制，或双分子泵组合控制
● 支持四路阀（角阀、插板阀、VENT阀）与三路 ACTIVE 规集成控制
●可为功率 ≤300 W 的分子泵提供电源
●一键 PUMP / VENT 操作，提升效率并降低使用难度
●紧凑设计，适配各类实验与生产平台，支持远程控制与系统集成
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
技术参数 / TECHNICAL DATA
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电学参数 |
供电电压 |
90V～240V AC |
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频率 |
50~60Hz |
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最大功率 |
300W |
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保险丝规格 |
250V 2A |
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数字输入 |
4路（24V电平） |
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数字输出 |
4路（24V电平） |
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阀控制 |
数量 |
4个 |
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控制电压 |
24V |
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接口 |
3.81mm接线端子 |
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前级泵控制 |
数量 |
1个 |
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控制电压 |
24V |
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接口 |
DB15 |
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分子泵控制 |
数量 |
1个 |
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控制电压 |
24V |
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最大输出功率 |
250W |
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接口 |
DB15 |
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真空规控制 |
数量 |
3路 |
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控制电压 |
24V |
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接口 |
RJ45 |
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机械尺寸 |
尺寸 |
宽：106.28mm |
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重量 |
1.5千克 |
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京公网安备 11011602001024号