中温蒸发源

Medium Temperature Effusion Cell

产品描述

主要特点 / MAIN FEATURE

● 超高真空兼容

● 优异的温度和束流稳定性

● 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸

● 多样的灯丝设计，可满足不同升温需求

● 坩埚容积可达155cc

产品应用 / APPLICATIONS

● MBE，表面科学，薄膜生长，样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域

型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF

④可选 35: 5cc,7cc,10cc; 63: 25cc,40cc,60cc ;100: 155cc ⑤M: 400~1400℃

⑦35和63可选 P: 气动, M: 手动 ⑨可选 K: type K, C: type C

技术参数 / TECHNICAL DATA

安装法兰	DN40CF (O.D.2.75'')， DN63CF (O.D. 4.5'' )，DN100CF (O.D. 6.0'' )
腔内长度	180~500mm可选
腔内直径	36.5mm, 61mm, 96mm
工作温度	450~1400℃
除气温度	≤1450℃
加热方式	钽丝加热
温度稳定性	±0.1℃
温度测量	K型热偶或C型热偶
烘烤温度	200℃
源数量	1
坩埚材料	石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料
坩埚容积	DN40CF：5cc,7cc, 10cc DN63CF：25cc,40cc,60cc DN100CF：155cc
冷却方式	一体式水冷或独立式水冷壁
挡板	DN40CF和DN63CF含内置挡板，可选气动或手动

相关文件 / DOWNLOAD

Cn-中温蒸发源0319(1)