主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 优异的温度和束流稳定性
● 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸
● 多样的灯丝设计，可满足不同升温需求
● 坩埚容积可达155cc
● 超高真空兼容
● 优异的温度和束流稳定性
● 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸
● 多样的灯丝设计，可满足不同升温需求
● 坩埚容积可达155cc
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科学，薄膜生长，样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科学，薄膜生长，样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动 ⑧可选 K: type K, C: type C
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动
⑧可选 K: type K, C: type C
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
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安装法兰 |
DN40CF (O.D.2.75'')， DN63CF (O.D. 4.5'' )，DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
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腔内长度 |
180~500mm可选 |
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腔内直径 |
36mm, 56mm, 96mm |
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工作温度 |
≤1500℃ |
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加热方式 |
钽丝加热 |
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温度稳定性 |
±0.1℃ |
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温度测量 |
K型热偶或C型热偶 |
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烘烤温度 |
200℃ |
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源数量 |
1 |
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坩埚材料 |
石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料 |
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坩埚容积 |
7cc, 10cc, 60cc, 155cc |
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冷却方式 |
一体式水冷或独立式水冷壁，与源炉分开拆卸 |
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挡板 |
DN40CF含内置挡板，可选气动或手动 |
