电子束蒸发源
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进：0.01mm精度，25mm行程，特殊设计
●内置挡板，不受空间限制完全打开
●可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进：0.01mm精度，25mm行程，特殊设计
●内置挡板，不受空间限制完全打开
●可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑥ 可选 P：气动，M：手动
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑥ 可选 P：气动，M：手动
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
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安装法兰 |
DN40CF (O.D. 2.75'' ) |
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烘烤温度 |
200℃ |
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腔内直径 |
34mm |
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腔内长度 |
210 mm标准长度， 170mm~400mm 可选长度 |
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源数量 |
1 |
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样品类型 |
棒材，颗粒，粉末（可供坩埚） |
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冷却方式 |
内部水冷, 1L/min |
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束流监控范围 |
0.1nA~1mA |
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灯丝电流 |
0~5A (10mA step) |
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加速电压 |
0~2000V |
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最大功率 |
250W |
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束流发散度 |
±6° |
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蒸发温度 |
≥3000℃ |
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坩埚容量 |
0.1cc |
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坩埚材料 |
钨，钼，钽，石墨，可定制其他材料 |
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棒材尺寸 |
直径2~4 mm，长度20~100mm |
