钛升华泵控制器
多通道可编程钛升华泵程控电源,最多同时控制3台泵,每台泵支持3个灯丝,典型应用场景有:
● 表面科学分析设备
● 半导体工艺设备
● 其他超高真空系统
● 表面科学分析设备
● 半导体工艺设备
● 其他超高真空系统
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●最多同时控制3台泵,每台泵支持3个灯丝
●0-80A恒流输出,支持自定义输出曲线
●图形化显示钛升华泵的灯丝运行状态,操作直观
●自动化控制,可定时开关泵
●标配以太网,支持远程控制、方便系统集成
●具有定时开启钛升华泵、灯丝使用时间统计等功能
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

③配备输出线缆数量:1、2、3可选
技术参数 / TECHNICAL DATA
主要特点 / MAIN FEATURE
●最多同时控制3台泵,每台泵支持3个灯丝
●0-80A恒流输出,支持自定义输出曲线
●图形化显示钛升华泵的灯丝运行状态,操作直观
●自动化控制,可定时开关泵
●标配以太网,支持远程控制、方便系统集成
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

③配备输出线缆数量:1、2、3可选
技术参数 / TECHNICAL DATA
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电学参数 |
输入电压 |
200V~240V 交流 |
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频率 |
50~60Hz |
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最大功耗 |
800W |
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保险丝规格 |
10A 250V |
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输出参数 |
输出电压 |
0~15V |
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输出电流 |
0~80A |
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支持最大泵数量 |
3 |
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每个泵灯丝数量 |
3 |
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环境 |
工作温度 |
15℃~45℃ |
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存储温度 |
0℃~70℃ |
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使用环境 |
室内 |
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机械尺寸 |
尺寸 |
宽:442mm(标准19寸) |
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重量 |
5千克 |
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京公网安备 11011602001024号