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产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 优异的温度和束流稳定性
● 独立式的水冷结构,源与水冷可单独拆卸
● 适用于腐蚀材料的蒸发
● 低温区和裂解区之间具有良好的隔热性
● 坩埚容积可达1000cc
●超高真空兼容
●优异的温度和束流稳定性
●独立式的水冷结构,源与水冷可单独拆卸
●适用于腐蚀材料的蒸发
●低温区和裂解区之间具有良好的隔热性
●坩埚容积可达1000cc
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
● 适用于蒸发:硫、硒、砷等材料
产品应用 / APPLICATIONS
● MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
● 适用于蒸发:硫、硒、砷等材料
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 100:DN100CF,63:DN63CF,35:DN40CF ⑤可选 P:气动,M:手动
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 100:DN100CF,63:DN63CF,35:DN40CF
⑤可选 P:气动,M:手动
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
安装法兰 | DN63CF (O.D. 4.5'' ),DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
腔内长度 | 200~500mm可选 |
腔内直径 | 36mm,56mm,94mm |
工作温度 | 高温区:300~800℃ |
低温区:100~400℃ | |
加热方式 | 低温坩埚区、裂解区:钽丝加热 |
温度稳定性 | ±0.1℃ |
温度测量 | K型热偶 |
烘烤温度 | 200℃ |
源数量 | 1 |
坩埚材料 | 石英,热解氮化硼,氧化铝,可定制其他材料 |
坩埚容积 | 低温区容积:1000cc |
冷却方式 | 低温坩埚区和裂解区独立式水冷壁,与源炉分开拆卸 |