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产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●7寸彩色触控屏
●可最多6路同时监测/控制
●曲线显示膜厚,生长速率及质量(MASS)
●高稳定基准,高精度
●测试数据一键保存
●远程控制和诊断,支持固件升级
●多层膜工艺流程控制,支持共沉积
产品应用 / APPLICATIONS
● 薄膜生长系统中对膜进行实时监测和生长过程的控制
产品应用 / APPLICATIONS
● 样品表面清洁
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选:101; 200;300 ③路数可选:C2:双路 C4:四路 C6:六路
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选:101; 200;300 ③路数可选:C2:双路 C4:四路 C6:六路
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
参数项 | QCM101 | QCM200 | QCM300 |
路数 | 双路,四路,六路(可选) | ||
参考频率稳定度 | ±1ppm | ±1ppm | ±1ppm |
频率分辨率 | 0.02Hz | 0.02Hz | 0.02Hz |
膜厚分辨率 | 0.1Å | 0.1Å | 0.1Å |
速率分辨率 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 |
速率控制 | / | / | 支持 |
功能特点 | 单层镀膜 | 多层镀膜 共沉积 | 多层镀膜 共沉积 膜厚控制 |
传感器数量 | 2-6 | 2-6 | 2-6 |
继电器输出 | 16 | 16 | 16 |
数字输出 | 无 | 16 | 16 |
挡板控制 | 16 | 16 | 16 |
模拟输出 | 无 | 无 | 2-6 |
输入电压 | 90~240VAC 50Hz/60Hz | ||
尺寸 | 300 x 133 x 275mm(3U,19英寸机柜) |
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离子源控制器
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无