膜厚控制仪/监测仪
适用于各类真空镀膜系统，对薄膜生长厚度、沉积速率的监测与控制，典型应用包括但不限于：
● 热蒸发与电子束蒸镀系统
● 磁控溅射镀膜系统
● 分子束外延系统
● 原子层沉积系统
● 热蒸发与电子束蒸镀系统
● 磁控溅射镀膜系统
● 分子束外延系统
● 原子层沉积系统
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●7寸彩色触控屏
●可最多6路同时监测/控制
●曲线显示膜厚，生长速率及质量（MASS）
●高稳定基准，高精度
●测试数据一键保存
●远程控制和诊断，支持固件升级
●多层膜工艺流程控制，支持共沉积
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选：101; 200；300 ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选：101; 200；300 ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 参数项 | QCM101 | QCM200 | QCM300 |
| 路数 | 双路，四路，六路（可选） | ||
| 参考频率稳定度 | ±1ppm | ±1ppm | ±1ppm |
| 频率分辨率 | 0.02Hz | 0.02Hz | 0.02Hz |
| 膜厚分辨率 | 0.1Å | 0.1Å | 0.1Å |
| 速率分辨率 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 |
| 速率控制 | / | / | 支持 |
| 功能特点 | 单层镀膜 | 多层镀膜 共沉积 | 多层镀膜 共沉积 膜厚控制 |
| 传感器数量 | 2-6 | 2-6 | 2-6 |
| 继电器输出 | 16 | 16 | 16 |
| 数字输出 | 无 | 16 | 16 |
| 挡板控制 | 16 | 16 | 16 |
| 模拟输出 | 无 | 无 | 2-6 |
| 输入电压 | 90~240VAC 50Hz/60Hz | ||
| 尺寸 | 300 x 133 x 275mm（3U，19英寸机柜） | ||
相关文件 / DOWNLOAD
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京公网安备 11011602001024号