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膜厚控制仪/监测仪

Thickness Controller/Monitor

产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

●7寸彩色触控屏

●可最多6路同时监测/控制

●曲线显示膜厚，生长速率及质量（MASS）

●高稳定基准，高精度

●测试数据一键保存

●远程控制和诊断，支持固件升级

●多层膜工艺流程控制，支持共沉积

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 薄膜生长系统中对膜进行实时监测和生长过程的控制

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 样品表面清洁

 

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

②可选：101; 200；300        ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

②可选：101; 200；300        ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

参数项 QCM101 QCM200 QCM300
路数 双路，四路，六路（可选）
参考频率稳定度 ±1ppm ±1ppm ±1ppm
频率分辨率 0.02Hz 0.02Hz 0.02Hz
膜厚分辨率 0.1Å 0.1Å 0.1Å
速率分辨率 0.01Å/秒 0.01Å/秒 0.01Å/秒
速率控制 / / 支持
功能特点 单层镀膜 多层镀膜  共沉积 多层镀膜  共沉积  膜厚控制
传感器数量 2-6 2-6 2-6
继电器输出 16 16 16
数字输出 无 16 16
挡板控制 16 16 16
模拟输出 无 无 2-6
输入电压 90~240VAC 50Hz/60Hz
尺寸 300 x 133 x 275mm（3U，19英寸机柜）

 

相关文件 / DOWNLOAD

CN-膜厚监测仪

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