系统 

• 分子束外延系统

• 超高真空VT-SPM系统

• 超高真空LT-SPM-MBE联合系统

• 原子层沉积系统

部件 

• 电子束蒸发源

• 裂解源

• 标准蒸发源

• 低温蒸发源

• 中温蒸发源

• 碱金属蒸发源

• 三温区裂解源

• 双灯丝K-Cell蒸发源

电子控制 

• 电子束加热蒸发源控制器

• 多功能温度控制器

• 烘烤控制器

• 针尖腐蚀仪

• 电流放大器

• 离子源控制器

• 膜厚控制仪/监测仪

耗材 

• 金属坩埚

• 氧化铝坩埚

• 热解氮化硼坩埚

• 石英坩埚

• STM针尖

定制方案