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CN / EN

鹰潭UHV-VT-SPM

超高真空连续流式变温扫描探针显微镜系统,可使用液氦/液氮降温,兼容qPlus AFM,可扩展光学、磁学、电学测量模块,可快速升级为闭循环无液氦制冷方式。

产品描述

主要特点  / MAIN FEATURE


● 结构紧凑,操作简单

● 快速降温和升温

● 原位沉积

● 快速进样

● 可快速升级为氦闭循环无液氦制冷方式

技术参数  / TECHNICAL DATA


工作温度

6~300K(液氦),80~300K(液氮)

扫描范围

4×4×1µm @ RT  
1.5×1.5×0.4µm @ LT

温度稳定性

±5 mK

温度漂移

Z ≤50 pm/h;XY≤150 pm/h(@6K)

低温恒温器类型

连续流

最小扫图电流

< 2 pA