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多通道可编程钛升华泵程控电源,最多同时控制3台泵,每台泵支持3个灯丝,典型应用场景有:<br> ● 表面科学分析设备<br> ● 半导体工艺设备<br> ● 其他超高真空系统<br>

主要用于真空系统中的机械泵、分子泵、真空阀和ACTIVE规的集成控制,典型应用领域包括:<br> ● 真空镀膜设备<br> ● 表面分析仪器<br> ● 材料制备系统<br> ● 真空设备集成<br> ● 真空热处理设备<br>

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