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中科艾科米

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桌面式高性能原子层沉积系统


●小型化设计,占地极小,灵活适配各类实验环境<br> ●原子级薄膜生长与埃米级厚度精确控制<br> ●优异保形沉积能力,适用于复杂结构及粉体表面改性<br> ●支持多种氧化物及复合薄膜沉积<br> ●提供成熟工艺包支持,实现快速部署与稳定复现<br> ●兼容4英寸晶圆与微纳粉体样品<br>

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BlueVortex™-4K-TERS*/NV*/THz*


基于原创的“远端液化”架构的超高真空无液氦低温扫描探针显微镜系统,无需消耗液氦,仅需少量氦气即可长期稳定维持4K以下低温环境,兼容qPlus AFM,支持磁体、TERS、THz、NV、电输运测量等先进实验模块扩展。

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