多功能镀膜控制仪
适用于各类真空镀膜系统，对薄膜生长厚度、沉积速率的监测与控制，典型应用包括但不限于：
● 热蒸发与电子束蒸镀系统
● 磁控溅射镀膜系统
● 分子束外延系统
● 原子层沉积系统
● 热蒸发与电子束蒸镀系统
● 磁控溅射镀膜系统
● 分子束外延系统
● 原子层沉积系统
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●实现膜厚、沉积质量及沉积速率的实时监测，并具备工艺过程控制能力
●面向多层镀膜与共沉积工艺，集成晶振切换与自动挡板控制功能
●最多配置 6 路传感器，实现多源共沉积过程的同步监测
●提供 16 路挡板控制及 16 路数字输入/输出接口，实现镀膜流程的自动化控制
●集成生长曲线显示、数据保存、远程诊断与固件升级功能
●标配以太网，支持远程控制、方便系统集成
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选：101; 200；300 ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选：101; 200；300 ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 产品型号 | QCM300 |
| 路数 | 双路，四路，六路（可选） |
| 参考频率稳定度 | ±1ppm |
| 频率分辨率 | 0.02Hz |
| 膜厚分辨率 | 0.1Å |
| 速率分辨率 | 0.01Å/秒 |
| 速率控制 | 支持 |
| 功能特点 | 多层镀膜 共沉积 膜厚控制 |
| 传感器数量 | 2-6 |
| 继电器输出 | 16 |
| 数字输出 | 16 |
| 挡板控制 | 16 |
| 模拟输出 | 2-6 |
| 输入电压 | 90~240VAC 50Hz/60Hz |
| 尺寸 | 300 x 133 x 275mm（3U，19英寸机柜） |
相关文件 / DOWNLOAD
相关产品
京公网安备 11011602001024号