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偏转电子束蒸发源

产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

超高真空兼容
●电子偏转270,有效保证灯丝使用寿命, 且易于维护
●适用于金属和电介质的高纯度蒸发

  产品应用  / APPLICATIONS

 

表面科学     ● 超薄膜层

● 多分子层     ● 掺杂

● 样品制备     ● 密接金属化

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

●超高真空兼容
●电子偏转270。,有效保证灯丝使用寿命, 且易于维护
●适用于金属和电介质的高纯度蒸发

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学     ● 超薄膜层

● 多分子层     ● 掺杂

● 样品制备     ● 密接金属化

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

安装法兰

DN63CF

加速电压

4-6kV

电子束功率

max3KW

灯丝电流/功率

max15A@100W

灯丝参数

钨灯丝

水冷参数

5L/min(最大功率)

坩埚材质

钨坩埚(特殊需求可定制)

坩埚尺寸

2cc

磁铁

钐钴永磁体

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Cn-偏转电子束蒸发源