偏转电子束蒸发源
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●电子偏转270°，有效保证灯丝使用寿命， 且易于维护
●适用于金属和电介质的高纯度蒸发
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层
● 多分子层 ● 掺杂
● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
技术参数 / TECHNICAL DATA
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●电子偏转270。，有效保证灯丝使用寿命， 且易于维护
●适用于金属和电介质的高纯度蒸发
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层
● 多分子层 ● 掺杂
● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
技术参数 / TECHNICAL DATA
|
安装法兰 |
DN63CF |
|
腔内长度 |
200-400mm |
|
加速电压 |
4-6kV |
|
电子束功率 |
max3kW |
|
灯丝电流/功率 |
max15A@100W |
|
灯丝参数 |
钨灯丝 |
|
水冷参数 |
5L/min（最大功率） |
|
坩埚材质 |
钨坩埚（特殊需求可定制） |
|
坩埚尺寸 |
2cc |
|
磁铁 |
钐钴永磁体 |
|
扫描模式 |
无 |
相关文件 / DOWNLOAD
京公网安备 11011602001024号