智能离子源控制器
氩离子枪智能电源，典型应用包括但不限于：
● 样品表面清洁与刻蚀
● 薄膜工艺与表面改性
● 样品制备与抛光
● 表面分析辅助处理
● 样品表面清洁与刻蚀
● 薄膜工艺与表面改性
● 样品制备与抛光
● 表面分析辅助处理
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●最大5 kV高压输出，最大发射电流15 mA，匹配大多数氩离子枪
●7英寸触控屏实现所有参数的集中设置、实时监控与流程管理
●支持定时处理，配备高压互锁保护，确保自动化操作的安全性
●提供多路数字与模拟接口，便于系统集成与工艺监控
●可选配模拟输入板卡，直接测量离子流（无需外接万用表）
●标配以太网，支持远程控制、方便系统集成
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
③ 无： 无模拟输入板卡， A :选配模拟输入板卡
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 能量电压 | 0-5000 V(1 V step) |
| 发射电流 | 0-15m A (1 mA step) |
| 灯丝电流 | 0-5.5 A |
| 数字量输入 | 3 路输入(其中1路为互锁) |
| 数字量输出 |
4 路输出（继电器） |
| 模拟量输入（选配） | 4路输入，其中一路为微安计，另外三路支持±10V电压模拟信号 |
| 尺寸 | 442 × 132 × 430 mm |
| 净重 | 5 kg |
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京公网安备 11011602001024号