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离子源控制器

Ion Source Controller

产品描述

主要特点  / MAIN FEATURE


●操作简便

●7寸彩色触控屏

●U盘一键固件升级

●模拟数字接口控制

●最大5 kV高压输出,最大发射电流15 mA

●高压互锁保护(支持最多三路互锁)

●可选配模拟输入板卡,直接测量离子流(无需外接万用表)

 

产品应用  / APPLICATIONS


● 样品表面清洁

 

型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION


③  无: 无模拟输入板卡, A :选配模拟输入板卡

 

技术参数  / TECHNICAL DATA


能量电压 0-5000 V(1 V step)
发射电流 0-15m A (1 mA step)
灯丝电流 0-5.5 A
数字量输入 3 路输入(其中1路为互锁)
数字量输出

4 路输出(继电器)

模拟量输入(选配) 4路输入,其中一路为微安计,另外三路支持±10V电压模拟信号
尺寸 442 × 132 × 430 mm
净重 5 kg

相关文件 / DOWNLOAD

CN-离子源控制器7.29