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双源蒸发源

Dual- Pockets Effusion Cell

产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

●超高真空兼容

●优异的温度稳定性

●独立的双路控温

●良好的热隔绝性

●有效提高UHV系统的使用效率

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学

● 超薄膜层

● 多源掺杂

● 样品制备

II-V半导体薄膜研究和太阳能领域

  产品应用  / APPLICATIONS

 

● 表面科学

● 超薄膜层

● 多源掺杂

● 样品制备

II-V半导体薄膜研究和太阳能领域

 

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

② 63:DN63CF    ④ M: 中温(400-1400℃)   ⑥ M: 手动;P:气动   ⑧ C:  Type C;K:Type K

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

② 63:DN63CF    ④ M: 中温(400-1400℃)   ⑥ M: 手动;P:气动   ⑧ C:  Type C;K:Type K

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

安装法兰

DN63CF (O.D. 4.5”)

腔内长度

标准长度300mm
220 mm-400mm可选
腔内直径 63mm
工作温度 400-1400℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶(400-1100℃)

C型热偶(400-1400℃)

除气温度 1450℃
烘烤温度 200℃
源数量 2
坩埚材料 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料
坩埚容积 5cc

冷却方式

一体式分段水冷

 

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