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三温区裂解源

Three-Zone Cracker

产品描述

主要特点  / MAIN FEATURE


●组合式坩埚设计,拥有长尺寸坩埚出口使团簇充分获得能量裂解

●底部快拆设计方便装填材料

●分段式水冷及隔温设计

●可在裂解区达工作温度后坩埚内仍保持初始温度

●裂解头核心最高温度可达1100℃

●模块化组合方式后期维护便捷

●三温区独立控温,最高控温精度可达±0.1℃

●DNF40CF安装法兰,与所有MBE系统兼容

●相邻发热温区温度抗串扰性优异

 

产品应用  / APPLICATIONS


● 适用于高饱和蒸气压材料如AS、Se、Sb、Te、Mg,可使团簇充分获能裂解

 

型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 35:DN40CF     ⑥ 可选 M:手动,P:气动   ⑧可选 K:type K

 

技术参数  / TECHNICAL DATA


安装法兰

DN40CF

烘烤温度

200℃

腔内直径

36mm

腔内长度

210mm

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

三温区独立控温,控温精度可达±0.1℃

温度测量

K型热偶

源数量

1

坩埚材料

PBN、石英等

坩埚容积

标准:35cc(可定制50cc等)

冷却方式

一体式分段水冷

挡板

手动挡板(可选气动)

挡板距离

DS≤15mm(可调)

水冷

流速 30L/h

裂解区

300~1100℃,除气≤1200℃

中温区

200~700℃,除气≤750℃

坩埚区

100~600℃,除气≤650℃

相关文件 / DOWNLOAD

CN三温区裂解源