三温区裂解源
Three-Zone Cracker
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●组合式坩埚设计，拥有长尺寸坩埚出口使团簇充分获得能量裂解
●底部快拆设计方便装填材料
●分段式水冷及隔温设计
●可在裂解区达工作温度后坩埚内仍保持初始温度
●裂解头核心最高温度可达1100℃
●模块化组合方式后期维护便捷
●三温区独立控温，最高控温精度可达±0.1℃
●DNF40CF安装法兰，与所有MBE系统兼容
●相邻发热温区温度抗串扰性优异
产品应用 / APPLICATIONS
● 适用于高饱和蒸气压材料如AS、Se、Sb、Te、Mg，可使团簇充分获能裂解
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑥ 可选 M：手动，P：气动 ⑧可选 K：type K
技术参数 / TECHNICAL DATA
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安装法兰 |
DN40CF |
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烘烤温度 |
200℃ |
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腔内直径 |
36mm |
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腔内长度 |
210mm |
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加热方式 |
钽丝加热 |
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温度稳定性 |
三温区独立控温，控温精度可达±0.1℃ |
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温度测量 |
K型热偶 |
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源数量 |
1 |
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坩埚材料 |
PBN、石英等 |
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坩埚容积 |
标准：35cc（可定制50cc等） |
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冷却方式 |
一体式分段水冷 |
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挡板 |
手动挡板（可选气动） |
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挡板距离 |
DS≤15mm（可调） |
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水冷 |
流速 30L/h |
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裂解区 |
300~1100℃,除气≤1200℃ |
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中温区 |
200~700℃,除气≤750℃ |
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坩埚区 |
100~600℃,除气≤650℃ |
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