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电子束加热控制器

集成负高压电源、灯丝电源与PID控温功能于一体,可用于在真空环境中对样品、探针或部件进行电子束轰击加热,典型应用包括:
● 样品电子束轰击加热
● 探针 / 针尖加热处理(STM、FIM 等)
● 真空系统局部部件加热

产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

● 集成负高压电源、灯丝电源与 PID 控温功能,实现稳定可控的电子束加热
● 灯丝电源悬浮于 0 至 −2000 V 负高压范围内,适用于样品、探针及部件的电子束加热
● 支持手动模式与恒温控制,基于热电偶实现闭环温度调节
● 触控界面实时显示运行状态,支持远程监控、诊断及固件升级
● 标配以太网接口,支持远程控制,便于系统集成

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

● 集成负高压电源、灯丝电源与 PID 控温功能,实现稳定可控的电子束加热
● 灯丝电源悬浮于 0 至 −2000 V 负高压范围内,适用于样品、探针及部件的电子束加热
● 支持手动模式与恒温控制,基于热电偶实现闭环温度调节
● 触控界面实时显示运行状态,支持远程监控、诊断及固件升级
● 标配以太网接口,支持远程控制,便于系统集成

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

电学参数

输入电压

220VAC ± 10%

频率

47Hz~63Hz

整机最大输入功率

1kW

保险丝规格

10A@250V

输出参数

灯丝电压

0~40V

灯丝电流

0~10A

高压电源电压

0~-2kV

高压电源电流

0~125mA

机械尺寸

尺寸

宽:442mm(标准19寸)

高:132mm(标准3U)

深:430mm

重量

5kg

 

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