双灯丝K-Cell蒸发源
Dual- Filament Effusion Cell
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●适用于中等蒸气压材料的蒸镀
●独立的双温区控温，每个温区单独可调，有效防止材料在出口处冷凝
●优异的温度稳定性，控温精度±0.1℃
●有效提高UHV系统的使用寿命
●便捷安装，且可重复性高
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学；超薄膜层；多分子层
● 掺杂；样品制备；密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF M: 中温（400-1400℃） ⑦可选 M：手动，P：气动
⑨ C: Type C；K：Type K ⑩ DF：双灯丝
技术参数 / TECHNICAL DATA
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安装法兰 |
DN40CF (O.D. 2.75”) |
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腔内长度 |
标准长度230mm，230mm-400mm可选 |
| 腔内直径 | 36.5mm |
| 工作温度 | 650-1400℃ |
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加热方式 |
钽丝加热 |
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温度稳定性 |
±0.1℃ |
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温度测量 |
K型热偶（650-1100℃），C型热偶（650-1400℃） |
| 烘烤温度 | 200℃ |
| 源数量 | 1 |
| 坩埚材料 | 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料 |
| 坩埚容积 | 10cc |
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冷却方式 |
一体式分段水冷 |
相关文件 / DOWNLOAD
京公网安备 11011602001024号