双灯丝K-Cell蒸发源
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双灯丝K-Cell蒸发
Dual- Filament Effusion Cell
1
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●适用于中等蒸气压材料的蒸镀
●独立的双温区控温,每个温区单独可调,有效防止材料在出口处冷凝
●优异的温度稳定性,控温精度±0.1℃
●有效提高UHV系统的使用寿命
●便捷安装,且可重复性高
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学;超薄膜层;多分子层
● 掺杂;样品制备;密接金属化
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学;超薄膜层;多分子层
● 掺杂;样品制备;密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 35:DN40CF ④ M: 中温(400-1400℃) ⑥ 可选 M:手动,P:气动
⑧ C: Type C;K:Type K ⑨ DF:双灯丝
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION

②可选 35:DN40CF ④ M: 中温(400-1400℃) ⑥ 可选 M:手动,P:气动
⑧ C: Type C;K:Type K ⑨ DF:双灯丝
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
安装法兰 |
DN40CF (O.D. 2.75”) |
腔内长度 |
标准长度230mm 230mm-400mm可选 |
腔内直径 | 36.5mm |
工作温度 | 400-1400℃ |
加热方式 |
钽丝加热 |
温度稳定性 |
±0.1℃ |
温度测量 |
K型热偶(400-1100℃) C型热偶(400-1400℃) |
烘烤温度 | 200℃ |
源数量 | 1 |
坩埚材料 | 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料 |
坩埚容积 | 10cc(其他尺寸可定制) |
冷却方式 |
一体式分段水冷 |
上一个
三温区裂解源
下一个
无