电子束加热蒸发源控制器
用于在真空环境中对样品、探针或部件进行电子束轰击加热控制，典型应用包括：
• 电子束蒸发源控制
• 样品电子束轰击加热
• 电子束蒸发源控制
• 样品电子束轰击加热
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
基于嵌入式ARM+Linux操作平台
● 高度集成化设计 ● 远程控制及诊断
● 7''LCD触屏显示 ● U盘一键固件升级
● 实时束流显示 ● 多种接口类型：USB，Ethernet
● 可作高压电源用 ● 高效风冷，智能风扇控制
多种工作模式
● 手动/恒高压/恒发射电流/恒功率/恒束流，各模式一键切换
特殊设计的束流转换器
● 直接安装在蒸发源上，可最小化噪音及误差
● 内置放大器及数字变换器
● 超大束流检测范围：100pA~1mA, 自动量程变换
● 超低噪音：<1pA/√Hz
基于嵌入式ARM+Linux操作平台
● 高度集成化设计
● 远程控制及诊断
● 7''LCD触屏显示
● U盘一键固件升级
● 实时束流显示
● 多种接口类型：USB，Ethernet
● 可作高压电源用
● 高效风冷，智能风扇控制
多种工作模式
● 手动/恒高压/恒发射电流/恒功率/恒束流，各模式一键切换
特殊设计的束流转换器
● 直接安装在蒸发源上，可最小化噪音及误差
● 内置放大器及数字变换器
● 超大束流检测范围：100pA~1mA, 自动量程变换
● 超低噪音：<1pA/√Hz
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
④可选 S0：无，S1：单路
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
④可选 S0：无，S1：单路
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
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灯丝电流 |
0~7A (10mA step) |
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束流输入 |
100pA~1mA |
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高压输出 |
电压：0~2000V (1V step) |
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电流：0~125mA (1mA step) |
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功率：250W（Max） |
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控制系统 |
带Linux系统的ARM11处理器 |
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CPU频率：533M |
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DDR内存：256M |
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Flash存储：2G |
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恒束流模式 |
目标束流 |
控制精度 |
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1nA |
0.1nA |
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10nA |
0.3nA |
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100nA |
1nA |
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尺寸 |
483 × 133 × 370 mm (3U，19英寸机柜) |
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净重 |
8kg |
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相关文件 / DOWNLOAD
京公网安备 11011602001024号