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电子束加热蒸发源控制器

E-Beam Controller

产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

基于嵌入式ARM+Linux操作平台

 高度集成化设计        ● 远程控制及诊断        

● 7''LCD触屏显示        ● U盘一键固件升级

● 实时束流显示            ● 多种接口类型:USB,Ethernet

● 可作高压电源用         ● 高效风冷,智能风扇控制

 

多种工作模式

● 手动/恒高压/恒发射电流/恒功率/恒束流,各模式一键切换

 

特殊设计的束流转换器

● 直接安装在蒸发源上,可最小化噪音及误差

● 内置放大器及数字变换器

● 超大束流检测范围:100pA~1mA, 自动量程变换

● 超低噪音:<1pA/√Hz

基于嵌入式ARM+Linux操作平台

● 高度集成化设计

● 远程控制及诊断        

● 7''LCD触屏显示

● U盘一键固件升级

● 实时束流显示 

● 多种接口类型:USB,Ethernet

● 可作高压电源用

● 高效风冷,智能风扇控制

 

多种工作模式

● 手动/恒高压/恒发射电流/恒功率/恒束流,各模式一键切换

 

特殊设计的束流转换器

● 直接安装在蒸发源上,可最小化噪音及误差

● 内置放大器及数字变换器

● 超大束流检测范围:100pA~1mA, 自动量程变换

● 超低噪音:<1pA/√Hz

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

④可选 S0:无,S1:单路

  型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION

 

④可选 S0:无,S1:单路

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

灯丝电流

0~7A (10mA step)

束流输入

100pA~1mA

高压输出

电压:0~2000V (1V step)

电流:0~125mA (1mA step)

功率:250W(Max)

控制系统

带Linux系统的ARM11处理器

CPU频率:533M

DDR内存:256M

Flash存储:2G

恒束流模式

目标束流

控制精度

1nA

0.1nA

10nA

0.3nA

100nA

1nA

尺寸

483 × 133 × 370 mm (3U,19英寸机柜)

净重

8kg

 

相关文件 / DOWNLOAD

Cn-电子束蒸发源控制器单页