三源有机物蒸发源
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●优异的温度稳定性
●独立的三路控温
●良好的热隔绝性
●有效提高UHV系统的使用效率
产品应用 / APPLICATIONS
●表面科学
●超薄膜层
●多源掺杂
●样品制备
●有机物蒸发镀膜
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
② 35：DN40CF
④ L ：低温（50-400℃）
⑥ M：手动；P：气动
⑧ K：TypeK
技术参数 / TECHNICAL DATA
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●优异的温度稳定性
●独立的三路控温
●良好的热隔绝性
●有效提高UHV系统的使用效率
产品应用 / APPLICATIONS
●表面科学
●超薄膜层
●多源掺杂
●样品制备
●有机物蒸发镀膜
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
② 35：DN40CF
④ L ：低温（50-400℃）
⑥ M：手动；P：气动
⑧ K：TypeK
技术参数 / TECHNICAL DATA
|
安装法兰 |
DN40CF (O.D.2.75”) |
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腔内长度 |
标准长度210mm；150mm-400mm可选 |
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腔内直径 |
36mm |
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工作温度 |
50~350℃ |
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加热方式 |
MCH加热 |
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温度稳定性 |
±0.1℃ |
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温度测量 |
K型热偶 |
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烘烤温度 |
≤200℃ |
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源数量 |
3 |
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坩埚材料 |
氧化铝、石英（其他材料可定制） |
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坩埚容积 |
0.1cc、0.5cc |
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冷却方式 |
一体式水冷 |
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京公网安备 11011602001024号