分子束外延系统
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●样品尺寸：４英寸基片向下兼容
●可在超高真空、低温环境中实现多达10种不同材料生长
●具有快速进样及多片暂存功能，及SPM、RHEED、QCM、BFM等多种原位生长表征和监测扩展能力
●触摸式总控屏幕，可对各腔体真空泵实施操作、可控制各互联腔体插板阀、可进行工艺编程及实时监控系统状态
●集成化水电气模块，便于后期维护
●样品尺寸：４英寸基片向下兼容
●可在超高真空、低温环境中实现多达10种不同材料生长
●具有快速进样及多片暂存功能，及SPM、RHEED、QCM、BFM等多种原位生长表征和监测扩展能力
●触摸式总控屏幕，可对各腔体真空泵实施操作、可控制各互联腔体插板阀、可进行工艺编程及实时监控系统状态
●集成化水电气模块，便于后期维护
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
|
生长腔 |
样品尺寸 |
4 inch 向下兼容 |
|
腔体直径 |
550 mm |
|
|
腔体材质 |
316L |
|
|
极限真空 |
优于3×10-10mbar |
|
|
四维运动样品台 |
最高1200℃ |
|
|
蒸发源数量 |
CF63×10 |
|
|
烘烤温度 |
150℃ |
|
|
样品预处理腔 |
极限真空 |
优于5×10-10 mbar |
|
样品台 |
最高800℃（可按需定制） |
|
|
Load-lock腔 |
接口数量 |
2×CF63 |
|
极限真空 |
优于4.5×10-8 mbar |
|
|
样品暂存数量 |
5片（可按需定制） |
|
|
控制系统 |
基础功能 |
触控操作面板 |
|
系统实时监测 |
||
|
泵阀规自动控制，一键PUMP，一键VENT |
||
|
设定真空、传样安全互锁，配备不间断电源 |
||
|
自动化烘烤控制 |
||
|
不间断数据记录 |
||
|
生产工艺编程，自动化控制 |
||
|
报警保护功能，系统急停按钮 |
||
|
样品台自动控制 |
||
|
可选功能 |
生产工艺 |
