分子束外延系统
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系统
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分子束外延系统
Molecular Beam Epitaxy
1
产品描述
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●结构紧凑、操作简单、节约成本
●结构紧凑、操作简单、节约成本
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
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CMP-MBE |
8英寸不锈钢球形真空腔体 |
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本底真空 |
<1×10-10 mbar |
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四轴高低温样品台 |
X/Y方向移动：±5mm； |
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蒸发源 |
5个 |
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离子枪 |
2~5KeV离子枪，配备Port Aligner |
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可选项 |
（1）QCM；（2）红外测温仪；（3）反射式高能电子衍射仪 |
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无
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变温扫描隧道显微镜系统
