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蒸发源控制器

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闭循环无液氦扫描探针显微镜系统

闭循环无液氦扫描探针显微镜系统

UHV-CRYOGEN-FREE LT SPM-SYSTEM
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系统
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产品描述

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

  主要特点  / MAIN FEATURE

 

 业界首创的闭循环无液氦制冷方式,样品温度低于4K,运行成本低,降温速度快

● 结合高刚性SPM探头,媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性

● 兼容qPlus AFM

● 支持五电极样品托,可实现变温的电学运输测试

● 可扩展光学通道及原位沉积功能

● 可直接使用制冷剂(液氮/液氦)降温,实现快速降温及宽工作温区

● 易于安装,可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式

● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式,样品温度低于4K,运行成本低,降温速度快

● 结合高刚性SPM探头,媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性

● 兼容qPlus AFM

● 支持五电极样品托,可实现变温的电学运输测试

● 可扩展光学通道及原位沉积功能

● 可直接使用制冷剂(液氮/液氦)降温,实现快速降温及宽工作温区

● 易于安装,可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式

STM系统性能测试数据  / STM TEST DATA

 

STM系统性能测试数据  / STM TEST DATA

 

  技术参数  / TECHNICAL DATA

                                  

 

SPM探头

兼容qPlus AFM

工作温度

4~300 K

室温降至最低温时间

约7 h

X/Y/Z粗移动范围

2×2×5 mm

X/Y/Z扫描范围

4×4×1 μm@±220 V RT

1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT

分辨率

亚纳米级分辨率

温度漂移

Z方向热漂移:≤20 pm/h@4K

XY方向热漂移:≤100 pm/h@4K

温度稳定性

±1 mk@恒温实验室环境

振动水平 <2 pm
最小扫图电流 <2 pA(外置前置放大器)

样品台

运动方式

三维运动、轴向旋转、样品面内旋转

温度范围

-150~室温(LN2冷却);室温~1000℃(E-Beam加热)

蒸发源

DN40CF 5个、DN63CF 1个(其他需求可按需定制)

可选项

光学通道,适用于光学实验

反射式高能电子衍射仪

低能电子衍射仪

  技术参数  / TECHNICAL DATA

 

 

 

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  • CN-HELIUM-FREE-SPM-SYSTEM0919.pdf

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