主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式，样品温度低于4K，运行成本低，降温速度快
● 结合高刚性SPM探头，媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托，可实现变温的电学运输测试
● 可扩展光学通道及原位沉积功能
● 可直接使用制冷剂（液氮/液氦）降温，实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装，可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式，样品温度低于4K，运行成本低，降温速度快
● 结合高刚性SPM探头，媲美液氦杜瓦型系统的极低振动水平与高的温度稳定性
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托，可实现变温的电学运输测试
● 可扩展光学通道及原位沉积功能
● 可直接使用制冷剂（液氮/液氦）降温，实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装，可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
STM系统性能测试数据 / STM TEST DATA
STM系统性能测试数据 / STM TEST DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
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SPM探头 |
兼容qPlus AFM |
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工作温度 |
4~300 K |
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室温降至最低温时间 |
约7 h |
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X/Y/Z粗移动范围 |
≥2×2×5 mm |
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X/Y/Z扫描范围 |
≥4×4×1 μm@±220 V RT |
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≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT |
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分辨率 |
亚纳米级分辨率 |
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温度漂移 |
Z方向热漂移：≤20 pm/h@4K |
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XY方向热漂移：≤100 pm/h@4K |
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温度稳定性 |
±1 mk@恒温实验室环境 |
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样品台 |
运动方式 |
三维运动、轴向旋转、样品面内旋转 |
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温度范围 |
-150℃~室温（LN2冷却）；室温~1000℃（E-Beam加热） |
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蒸发源 |
DN40CF 5个、DN63CF 1个（其他需求可按需定制） |
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可选项 |
光学通道，适用于光学实验 |
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反射式高能电子衍射仪 |
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低能电子衍射仪 |
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技术参数 / TECHNICAL DATA
